BS EN 62047-8-2011 半导体装置.微电机装置.薄膜拉伸性能测量用带材弯曲试验方法
时间:2024-05-20 07:33:31 来源: 标准资料网 作者：标准资料网 阅读：8135
【英文标准名称】:Semiconductordevices.Micro-electromechanicaldevices.Stripbendingtestmethodfortensilepropertymeasurementofthinfilms
【原文标准名称】:半导体装置.微电机装置.薄膜拉伸性能测量用带材弯曲试验方法
【标准号】:BSEN62047-8-2011
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2011-06-30
【实施或试行日期】:2011-06-30
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Bendtesting;Characteristics;Components;Films;Layers;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Samples;Semiconductordevices;Strips;Systemengineering;Tensilestrain;Testing;Testingconditions;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:Thisinternationalstandardspecifiesthestripbendingtestmethodtomeasuretensilepropertiesofthinfilmswithhighaccuracy,repeatability,moderateeffortofalignmentandhandlingcomparedtotheconventionaltensiletest.Thistestingmethodisvalidfortestpieceswithathicknessbetween50nmandseveralmm,andwithanaspectratio(ratiooflengthtothickness)ofmorethan300.Thehangingstrip(orbridge)betweentwofixedsupportsarewidelyadoptedinMEMSormicro-machines.Itismucheasiertofabricatethesestripsthantheconventionaltensiletestpieces.Thetestproceduresaresosimpletobereadilyautomated.ThisinternationalstandardcanbeutilizedasaqualitycontroltestforMEMSproductionsinceitstestingthroughputisveryhighcomparedtotheconventionaltensiletest.
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_99
【页数】:22P.;A4
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:SpindleNosesforToolRoomLathes,EngineLathes,TurretLathes,andAutomaticLathes
【原文标准名称】:工具车床、普通车床、六角车床和自动车床的轴头
【标准号】:ANSI/ASMEB5.9-1967
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1967
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国国家标准学会(US-ANSI)
【起草单位】:ASME
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:轴头;车床;主轴
【英文主题词】:Automaticlathes;Dimensions;Lathes;Machinetools;Powerdrives;Specification(approval);Spindlenoses;Spindles;Spindlesoftheheadstock;Turretlathes
【摘要】:Thesespindlenosesareforuseonenginelathes,toolroomlathes,turretlathesandautomaticlathesandmaybeusedadvantageouslyonothermachineswhereverchucksorfixturesmustbemountedaccuratelyandrigidlyonrevolvingspindles.Completedimensionsforeachsizeandtypeofnose,aswellasformatingbacksofchucks,faceplatesandfixtures,aregiveninthetables.Alsogivenaredimensionsofgagesforcheckingtheimportantdimensionsonthesespindlenosesandthebacksofchucks,faceplatesandfixtures,toinsureinterchangeabilitybetweenpartsmadebydifferentmanufacturers.
【中国标准分类号】:J53
【国际标准分类号】:25_080_10
【页数】:
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:Advancedtechnicalceramics-Mechanicalpropertiesofceramiccompositesatroomtemperature-Determinationofelasticpropertiesbyanultrasonictechnique.
【原文标准名称】:高级工业陶瓷.室温下陶瓷复合物的机械特性.用超声波技术测定弹性
【标准号】:NFB43-354-2008
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2008-02-01
【实施或试行日期】:2008-02-29
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:高级工业陶瓷;陶瓷;复合材料;定义;弹性(流体);延伸;数学计算;机械性能;弹性模量;直升的;泊松分布;泊松比;特性;剪切模量;应力;对称;抗拉强度;抗拉测试;测试;超声波试验系统;超声检验;杨氏模量
【英文主题词】:Advancedtechnicalceramics;Ceramics;Compositematerials;Definition;Definitions;Elasticproperties(fluids);Elongation;Mathematicalcalculations;Mechanicalproperties;Modulusofelasticity;Orthotropic;Poissondistribution;Poisson'sratio;Properties;Shearmodulus;Stress;Symmetry;Tensilestrength;Tensiletesting;Testing;Ultrasonictestsystems;Ultrasonictesting;Young'smodulus
【摘要】:
【中国标准分类号】:Q32
【国际标准分类号】:81_060_30
【页数】:23P;A4
【正文语种】:其他